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    793章 无可替代！ (第3/3页)

纳米干式光刻技术，但在65纳米技术节点上遇到了困难，试验了很多技术都无法很好的突破这一难题。

    瑞星科技公司一开始就在浸没式光刻技术上进行布局，捣鼓了差不多有五年多，到2002年底浸入式技术完全成熟了。

    此前业界并没有认为浸入式技术有如此大的功效，这种技术利用在原来的193纳米波长光源干光刻技术平台之上，配合现有的光刻技术变动不大，获得了晶圆厂的极大赞赏。

    而且瑞星科技公司这套光刻机的售价控制在了四千万美金左右，比起艾斯摩尔好尼康以及佳能的光刻机的价格相当。

    更关键的是瑞星的技术团队在杨杰的高标准要求下这些年拿出了愚公搬山的精神来一点一点的将遇到的工程技术问题给解决掉了，这也让瑞星科技公司的光刻机很少出现问题，性能非常稳定。

    尤其是这两年采用了人工智能的视觉系统芯片后，光刻机的智能化程度得到了很多的提高，控制系统在工作过程中会主动地进行微调，跟踪判定的能力非常强，极少出错，并且能够主动地提示设备故障发生的部件和原因，并且做到了扫描和刻蚀的同步。

    正是如此，瑞星科技公司推出的第三代光刻机做到了世界领先的程度，在浸没式光刻技术上超出了艾斯摩尔和尼康公司一大截。

    现在艾斯摩尔和尼康也都是在浸没式光刻技术上进行研发，不过从得到的情报来说，这两家公司要想在这方面成熟至少还需要三年以上的时间。

    也就是说现阶段只有瑞星科技公司能生产提供浸没式光刻机设备，晶圆厂要想生产更先进制程工艺只能是从杨杰的公司这里拿货。

    现在瑞星科技公司的光是光刻机的订单数量已经达到了234台，如果加上刻蚀机和离子蒸镀设备等，今年的营收预计能够达到160亿美金。

    瑞星科技公司能够在七年多的时间里面达到这样的营收已经是非常惊人的成就了，关键是这些设备是半导体的最核心的设备，可不是随随便便哪个国家和公司能够替代得了的。

    

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